Doctoral Studies

Advanced Nanotechnologies and Microtechnologies - Field

Topic name: Study of real structure of epitaxial layers of GaN by x-ray diffraction

Supervisor: prof. RNDr. Václav Holý, CSc.

Oficiální zadání:
Epitaxní vrstvy GaN nacházejí široké uplatnění v elektronice a optoelektronice. Základním problémem jejich technologie je rozdíl struktur vrstvy a substrátu, protože neexistují běžně dostupné substráty s mřížkově přizpůsobené struktuře GaN, tento rozdíl vede ke vzniku vel-kého množství strukturních defektů. Cílem práce je studium defektů v epitaxních vrstvách c-GaN deponovaných metodou MOVPE na substrátech Si(111). Základním typem defektů v těchto vrstvách jsou hranové a šroubové threading-dislokace šířící se ve směru kolmém na povrch vrstvy od substrátového povrchu. V rámci dizertace bude vypracována metoda určení typu a hustoty threading dislo-kací pomocí rtg difrakce (metoda reciprocal-space mapping). Epiaxial layers GaN are widely used nowadays in electronic and optoelectronic devices. The main problem of the GaN technology is the mismatch of structures of the GaN layer and all usually available substrates (Al2O3, Si, SiC), which results in a large amount of structure defects in the layers. The aim of the thesis is the study of defects in epitaxial layers of c-GaN deposited on Si(111) substrates by the MOVPE technique. In these layers, the main defects are edge or screw threading dislocations propagating from the substrate surface towards the free layer surface. A new method will be developed, which determines the type and density of threading dislocations from x-ray diffraction data (reciprocal-space mapping technique). Seznam základní literatury: U. Pietsch, V. Holý and T. Baumbach, High-Resolution X-Ray Scattering From Thin Films to Lateral Nanostructures, Springer-Verlag Berlin, Heidelberg, New York 2004. Časopisecká literatura podle pokynů vedoucího práce Konzultant: Mgr. Ondřej Caha, Ph.D.


login
© 2011 Přírodovědecká fakulta Masarykovy univerzity. tel: +420 549 49 1111, e-mail:
Všechna práva vyhrazena.
Webmaster: Alan Kuběna,
Grafický design: © 2011 Mgr. Pavel Brabec,
Obsahová struktura: © 2011 Mgr. Zuzana Kobíková
Počet přístupů: 779354 od 2.8.2011