Informace o projektu
Termofyzikální charakterizace tenkých vrstev
- Kód projektu
- GA23-06263S
- Období řešení
- 1/2023 - 12/2025
- Investor / Programový rámec / typ projektu
-
Grantová agentura ČR
- Standardní projekty
- Fakulta / Pracoviště MU
- Přírodovědecká fakulta
- Spolupracující organizace
-
Český metrologický institut
- Odpovědná osoba Mgr. Petr Klapetek, Ph.D.
Projekt se zaměřuje na vývoj metod kvantitativní analýzy termofyzikálních vlastností tenkých vrstev a jejich systémů pomocí metod rastrovací sondové mikroskopie (SPM). To zahrnuje vývoj vhodných referenčních vzorků, vývoj nástrojů pro kombinovaná termální a elektrická měření v SPM a vývoj metodiky pro zajištění metrologické návaznosti, jak na specializovaných, tak na komerčně dostupných mikroskopech.