Informace o projektu
Optimization of magnetron discharge and spatial study of deposition plasma for efficient deposition processes

Kód projektu
TN02000069/003
Období řešení
1/2026 - 12/2028
Investor / Programový rámec / typ projektu
Technologická agentura ČR
Fakulta / Pracoviště MU
Přírodovědecká fakulta
Spolupracující organizace
SHM, s.r.o.

The first aim of the project is to study the effects of process parameters such as substrate holder loading (full and partial), number of rotation axes (1, 2, 3) or carousel configuration (6, 7 and 14 positions), and type of cathode (Cr, Ti, Zr etc.) used on the properties of the generated plasma and on layer formation during magnetron sputtering. These findings will contribute to improving the quality of deposited thin layers and enable better reproducibility and optimisation of process parameters. The second aim is a PVD coating for precision machining with increased tool-lifetime and other requirements (low roughness, machinig speed and material). It will be based on chromium and titanium nitrides in combination with other elements (e.g., Al, Si, etc.) prepared by magnetron sputtering, the parameters of which will be based on the results of the first aim.

Cíle udržitelného rozvoje

Masarykova univerzita se hlásí k cílům udržitelného rozvoje OSN, jejichž záměrem je do roku 2030 zlepšit podmínky a kvalitu života na naší planetě.

Cíl udržitelného rozvoje č.  9 – Průmysl, inovace a infrastruktura Cíl udržitelného rozvoje č.  12 – Odpovědná spotřeba a výroba

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.