Real-time spectroscopic analysis: in-situ analysis of spectroscopic measurements for proces monitoring

Project Identification
OK 139
Project Period
6/1995 - 12/1998
Investor / Pogramme / Project type
Ministry of Education, Youth and Sports of the CR
MU Faculty or unit
Faculty of Science

Spektroskopická analyza depozičních, růstových a leptacích procesů v reálném čase. Použití neuronových sítí pro zpracování elipsometrických dat. Numerický rozbor citlivosti měření, referenční sekvenční výpočty. Pořízení databáze optických konstant intrinsického a legovaného křemíku pro in-situ diagnostiku.

You are running an old browser version. We recommend updating your browser to its latest version.