Project information
Real-time spectroscopic analysis: in-situ analysis of spectroscopic measurements for proces monitoring
- Project Identification
- OK 139
- Project Period
- 6/1995 - 12/1998
- Investor / Pogramme / Project type
-
Ministry of Education, Youth and Sports of the CR
- EUPRO
- MU Faculty or unit
- Faculty of Science
Spektroskopická analyza depozičních, růstových a leptacích procesů v reálném čase. Použití neuronových sítí pro zpracování elipsometrických dat. Numerický rozbor citlivosti měření, referenční sekvenční výpočty. Pořízení databáze optických konstant intrinsického a legovaného křemíku pro in-situ diagnostiku.