Informace o projektu
Spektroskopická analýza v reálném čase: in-situ analýza spektroskopických měření pro monitorování procesů
- Kód projektu
- OK 139
- Období řešení
- 6/1995 - 12/1998
- Investor / Programový rámec / typ projektu
-
Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR
- EUPRO (jen po projekty s počátkem řešení v roce 2010)
- Fakulta / Pracoviště MU
- Přírodovědecká fakulta
Spektroskopická analyza depozičních, růstových a leptacích procesů v reálném čase. Použití neuronových sítí pro zpracování elipsometrických dat. Numerický rozbor citlivosti měření, referenční sekvenční výpočty. Pořízení databáze optických konstant intrinsického a legovaného křemíku pro in-situ diagnostiku.