Syntéza a charakterizace tenkých vrstev s nanolaminátní mikrostrukturou

Kód projektu
MUNI/C/1657/2016
Období řešení
2/2017 - 12/2017
Investor / Programový rámec / typ projektu
Masarykova univerzita
Fakulta / Pracoviště MU
Přírodovědecká fakulta

Cílem tohoto projektu je vývoj depozičního procesu s cílem zajistit optimální podmínky pro růst X2BC (X= Mo, Ta nebo W) nanolaminátních tenkých vrstev a jejich detailní charakterizace. Pro vrstvu Mo2BC bylo v roce 2009 (a pro vrstvy Ta2BC a W2BC v roce 2013) teoreticky „ab initio“ výpočtem předpovězeno, že by měla vykazovat unikátní kombinaci vlastností, jako je vysoká tuhost a střední kujnost, a to díky její unikátní vnitřní struktuře, kde se roviny karbidů a boridů střídají v rámci elementární krystalové buňky. Vrstvy budou připravovány pomocí nereaktivního magnetronového naprašování s využitím zařízení se segmentovým terčem válcového tvaru. Bude provedena studie mechanických vlastností, chemického složení a mikrostruktury připravených vrstev. Na základě těchto poznatků bude depoziční proces jejich přípravy zpětně upravován a optimalizován.

Publikace