Návrh a konstrukce zařízení pro in-situ měření plošné homogenity tenkých vrstev

Logo poskytovatele
Kód projektu
GA101/98/0772
Období řešení
1/1998 - 1/2000
Investor / Programový rámec / typ projektu
Grantová agentura ČR
Fakulta / Pracoviště MU
Přírodovědecká fakulta
Spolupracující organizace
Vysoké učení technické v Brně

Projekt si klade za cíl navrhnout a zkonstruovat kompaktní měřící optické zařízení k plošnému in-situ měření tlouštěk a optických konstant tenkých vrstev. Funkce tohoto měřícího přístroje, jenž je založen na originální metodě detekce odraženého bílého světla CCD kamerou, bude optimalizována ve spojení se stávající vakuovou depoziční aparaturou, využívající k depozici tenkých vrstev dva širokosvazkové iontové zdroje Kaufmanova typu. Získané poznatky budou následně využity k řízení depozičního procesu a umožní tak uskutečnění cílených technologických zásahů v průběhu růstu vrstevnatého systému. Nespornou předností navrhovaného zařízení je jeho univerzálnost - principiálně jej bude možno využít k in-situ analýzám deponovaných tenkých vrstev vytvořených i jinými výše zmíněnými iontově-svazkovými technologiemi. Část návrhů jednotlivých komponent bude zajištěna diplomovými projekty studentů oboru fyzikálního inženýrství ÚFI FS Brno a náplní navazujícího doktorandského studia.

Publikace

Počet publikací: 4


Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.