Optické a mechanické vlastnosti tenkých vrstev DLC:Si připravených PECVD metodou

Logo poskytovatele
Kód projektu
GA202/01/1110
Období řešení
1/2001 - 1/2003
Investor / Programový rámec / typ projektu
Grantová agentura ČR
Fakulta / Pracoviště MU
Přírodovědecká fakulta
Spolupracující organizace
Vysoké učení technické v Brně
Český metrologický institut

Cílem projektu je pro vest systematické studium optických a mechanických vlastností tenkých vrstev DLC (diamond like carbon) obsahujících příměsi křemíku (DLC:Si). V rámci tohoto studia bude použita nová optická metoda založená na kombinaci spektroskopic ké elipsometrie a spektroskopické reflektometrie, která spolu s modelem vrstev DLC:Si respektujícím poruchy těchto vrstev a spolu s novým modelem disperze optických konstant amorfních pevných látek umožní měření optických parametrů reprezentujících optic ké vlastnosti zmíněných vrstev. Pomocí standardních mikrovtiskových i moderních nanovtiskových metod budou určeny podstatné mechanické veličiny vrstev DLC:Si umožňující jednoznačně popsat mechanické vlastnosti těchto vrstev. Rozdělení vnitřních napětí uv nitř studovaných vrstev umístěných na různých podložkách bude měřeno pomocí modifikované metody holografické interferometrie. Navíc bude systematicky studován i vliv technologických podmínek přípravy DLC:Si vrstev na jejich optické a mechanické vlastnost

Publikace

Počet publikací: 20


Předchozí 1 2 Další

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.