Realizace vrstevnatých systémů s požadovanými spektrálními závislostmi odrazivosti a propustnosti ve střední ultrafialové oblasti spektra

Project Identification
FV40328
Project Period
5/2019 - 12/2022
Investor / Pogramme / Project type
Ministry of Industry and Trade of the CR
MU Faculty or unit
Faculty of Science
Cooperating Organization
Brno University of Technology
Czech Meteorological Institute
Meopta - optika, s.r.o.

Hlavní cíle předkládaného projektu jsou:

1. Úplná optická charakterizace jednoduchých (single) vrstev používaných ve vrstevnatých systémech, tj. vrstev Al2O3, MgF2, HfO2 a SiO2. Charakterizace potenciálně slibných vrstev Sc2O3 bude také provedena.
2. Vývoj antireflexních pokrytí na skleněných podložkách při kolmém dopadu světla s požadovanými hodnotami propustnosti ve vlnových délkách 213 nm a 248 nm. Výroba vzorků na základě návrhů a optická charakterizace těchto vzorků. Úprava technologických podmínek přípravy vrstev a výroba optimalizovaných vzorků. Kontrola dosažení optimalizace prostřednictvím měření spektrálních závislostí odrazivosti a propustnosti.
3. Vývoj zrcadel s vysokou odrazivostí na skleněných podložkách při úhlu dopadu 45 stupňů s požadovanými hodnotami průměrné odrazivosti pro vlnové délky 248 nm a 213 nm. Výroba vzorků na základě návrhů spolu s optickou charakterizací. Úprava technologických podmínek přípravy vrstev a výroba optimalizovaných vzorků. Kontrola optimalizace prostřednictvím měření spektrálních závislostí odrazivosti.
4. Vývoj děličů světelných svazků na skleněných podložkách při úhlu dopadu 45 stupňů s požadovanými hodnotami pro p-složku propustnosti nebo pro průměrnou propustnost ve vlnové délce 248 nm a s požadovanými hodnotami pro s-složku odrazivosti pro vlnové délky 630 nm – 670 nm. Výroba vzorků na základě návrhů spolu s optickou charakterizací. Úprava technologických podmínek přípravy vrstev a výroba optimalizovaných vzorků. Kontrola dosažení optimalizace prostřednictvím měření spektrálních závislostí odrazivosti a propustnosti.
5. Měření vnitřního napětí a parametrů charakterizujících mechanické vlastnosti vrstev a vrstevnatých systémů pro posouzení jejich životnosti spolu s kontrolou plošné uniformity jejich optických parametrů.

Publications

Total number of publications: 2


You are running an old browser version. We recommend updating your browser to its latest version.