Simulace a diagnostika vysokofrekvenčních výbojů pro syntézu nanomateriálů

Kód projektu
MUNI/C/0913/2012
Období řešení
1/2013 - 12/2013
Investor / Programový rámec / typ projektu
Masarykova univerzita
Fakulta / Pracoviště MU
Přírodovědecká fakulta
Další fakulta/pracoviště MU
Středoevropský technologický institut

Cílem diplomové práce a případného projektu je studovat pomocí počítačových simulací fyzikálně-chemické procesy v Ar/H2/CH4 plazmatu mikrovlnného pochodňového výboje používaného na ÚFE (GAČR P205/10/1347) a v H2/CH4 plazmatu mikrovlnného reaktoru s lineárními anténami používaného na Fyzikálním ústavu AV ČR (spolupráce v rámci projektu GAČR P205/12/0908). Projekt tedy doplňuje aktuální témata výzkumu na PřF MU. Kromě výpočtů, prováděných metodou konečných prvků, budou prováděny i verifikační experimenty pro tyto výpočty. Jedná se zejména o diagnostiku pomocí optické emisní spektroskopie, Schlieren fotografie a další měření (teplota, odražený výkon, měření rychlou kamerou). Výstupem projektu budou detailní charakteristiky používaného plazmatu a závislost vlastností plazmatu na provozních parametrech. Vliv složení plazmatu (koncentrace iontů/radikálů) na depozice bude rovněž diskutován. Vzhledem k tomu, že srovnatelně komplexní simulace nejsou časté a zatím byly publikovány pouze pro odlišné typy výbojů, budou výstupem projektu nejen prezentace na konferencích, ale také dva články v recenzovaných časopisech (pro každý výboj jeden). Dalším výstupem projektu je samotný výpočetní algoritmus, který bude díky použití komerčního balíku COMSOL API jednoduše možné modifikovat pro jiné geometrie a typy výbojů.

Publikace

Počet publikací: 6


Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.